MEMS-Casting是由MEMS和Casting两个单词组成的。MEMS是英语Micro-Electronic-Mechnical System(微机电系统)的首字母缩写,这是一个专有名词。微机电系统是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内(一般是几微米到几百微米尺度)。微机电系统的加工技术由半导体加工技术改造而来,可以认为是集成电路制造技术的一个分支。区别在于,集成电路是在晶圆上制造逻辑运算电路,而MEMS是在晶圆上制造微型机械结构,例如悬臂梁,梳齿状结构,空腔薄膜结构等。MEMS是芯片类传感器的主要加工制造技术。Casting是铸造的英文。MEMS-Casting即是微机电领域的铸造,可以简称为微机电铸造。MEMS-Casting是在晶圆上实现的微米尺度的铸造。如此命名是因为这项微铸造技术是建立在MEMS技术的基础之上,并且在许多方面应用于MEMS领域。